
電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動,傾斜測量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運(yùn)動。
主要技術(shù)指標(biāo):
| 靈敏度(20±5℃) | 1000 mV/g | 
| 測量范圍(峰值) | ±1 g | 
| 大橫向靈敏度 | ≤5 % | 
| 頻率響應(yīng)(-3dB) | 0~ 800 Hz | 
| 非線性 | ≤0.5% | 
| 工作溫度范圍 | -40~+120 ℃ | 
| 溫度響應(yīng) | 見溫度曲線 | 
| 沖擊極限(無供電) | 5000 g | 
| 靈敏度溫度系數(shù) | 0.3 %/℃ | 
| 噪聲 | <45 ug/√Hz | 
| 輸出阻抗 | <100 Ω | 
| 供電電源 | +6~+16 VDC | 
| 工作電流 | ≤5 mA | 
| 零g偏置電壓 | 2.5±0.1 V | 
| 安裝 | 4-φ2.8孔 | 
| 殼體材料 | 不銹鋼 | 
| 重量 | 20 g | 
| 輸出方式 | 整體三芯屏蔽電纜線 紅線:正電源;白線:地;綠線:輸出 | 
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